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工商時報【涂志豪╱台北報導】

半導體微影技術即將出現世代交替，極紫外光（EUV）可望成為未來先進製程主要微影技術，英特爾及三星已決定在7奈米世代開始採用EUV製程，台積電則將在5奈米開始導入EUV，對於投入EUV晶圓傳載方案多年的家登（3680）來說，EUV產品已開始獲得半導體大廠採用及出貨。

家登公告8月合併營收月增7.7％達1.83億元，較去年同期成長2.4％，累計今年前8個月營收達13.40億元，較去年同期成長11.7％。家登表示，半導體本業受惠於新產品開發有成及設備類訂單挹注，本業業績已連續14個月創下歷年同期新高紀錄，在各產品領域專注專業及市場多方布局的策略下，組織再造將賦予家登全新動能，看好接下來至年底的表現。

家登今年參加台灣國際半導體展（SEMICON Taiwan），除展出全系列光罩傳載解決方案及晶圓傳載解決方案產品，更將重點展示極紫外光光罩傳送盒（EUV Reticle Pod），其內外雙層設計可更為有效達成載具中微污染防治的目的，確保EUV光罩在運輸、儲存、處理及在真空環境操作下完美的保護。

EUV微影技術自發展以來逐步成熟，家登擴大研發團隊之編制緊跟市場發展趨勢，以滿足客戶對技術成熟的盼望，不斷與客戶端協同設計並持續精進產品的精神，伴隨半導體先進製程持續快速向前推進，家登已加速提升EUV POD量產製造能力，以因應客戶需求並完成量產計畫。

另外，家登已於8月1日成立家登自動化公司，新成立的子公司由家登100％持股，完全承接、負責原本家登的機台設備研發、生產、銷售與服務等業務，同時，母公司的設備相關專利、機台設計與下游供應商、代理商等亦一併轉移給子公司。家登表示，此一布局將使家登精密與家登自動化能各別專注於各自的專業與深耕彼此技術發展，家登自動化可更專注於半導體製程設備需求。

家登2016年第一季表現亮眼，第二季跟隨市場逐步升溫，第三季邁開步伐，經營團隊表示有信心延續連續14個月的本業業績走揚表現至年底，期許逐季成長交出亮眼成績單。